Cassetes de difusão Fibrothal®

Os cassetes de medidores leves são compostos de fios de bitola leve que são formados em padrões sinusoidais ou bobinas do tipo mola. Medidor leve refere-se ao uso de bitolas finas na construção de cassetes. Essa configuração é crucial para a difusão precisa e controlada de impurezas no material semicondutor.

Os cassetes de medidor pesado são compostos por um fio de resistência de bitola maior que é moldado a quente em um formato cilíndrico e então isolado e revestido. Esses cassetes podem ter vários números de zonas e são projetados para fornecer aquecimento consistente e confiável em diversas aplicações. Enrolado em bobina a quente com potência específica e controlada para precisão do diâmetro interno e tensão reduzida do fio.

A escolha entre fornos horizontais e verticais depende de vários fatores, incluindo os processos específicos de fabricação de semicondutores empregados e os objetivos da instalação de fabricação. Cada orientação tem suas vantagens e desvantagens, e a seleção pode ser influenciada por fatores como tamanho do wafer, requisitos do processo e fluxo de trabalho geral de fabricação.