Amplamente adotado na indústria de semicondutores, os processos LPCVD encontram aplicações na deposição de materiais como nitreto de silício, dióxido de silício e polissilício. Sua natureza controlada e capacidade de atingir espessura e uniformidade precisas tornam os processos LPCVD uma pedra angular na criação de dispositivos semicondutores avançados. Operando em pressões mais baixas em comparação com outros métodos de deposição química de vapor, os processos LPCVD garantem um controle meticuloso sobre as propriedades do filme.