Sandvik Thermal Process, Inc.は過去41年にわたって、半導体産業と関連産業向けに独自の設備と代替ヒーターを提供してきました。 今後数週間で、さまざまな商標変更作業が行われます。 差し迫った変更の1つは、Sandvik Thermal Process, Inc.の名前がKanthal Thermal Process, Inc.に変更されることです。
これにより、すべてのお客様に向けて、北米での守備範囲を強化し、品質とリードタイムを改善することができます。 ご質問がある場合は、KanthalのNAFTAセールスエリアマネージャー, (電話: +1 (704) 784-3001)までお問い合わせください。
以下に、Kanthal®ブランドとして市販される製品仕様をご紹介いたします。
Fibrothalモジュール
用途:
Fibrothalヒーターモジュールは、太陽電池や半導体の製造から電気ヒーティングプロセスまで、さまざまな用途で動作します。
メリット:
Fibrothalヒーターモジュールの軽量構造とセラミックファイバーにより、低熱容量と熱伝導率が実現します。 シンプルな設計なので、迅速な設置、さまざまなプロセス間での素早い切り替え、容易な交換が可能です。
| 一次発熱体合金: | Kanthal® A-1、Kanthal APM™ |
| 発熱体最大温度 | 1350°C (2460°F) |
| 定格出力: | パネルあたり最大10kW |
| 寸法 | 用途の要件に応じてカスタム製造。 |
詳細については、Fibrothal製品ページをご覧ください。
ヒーターカセット
用途:
縦型ヒーターと横型ヒーターはさまざまな雰囲気/LPCVD (圧化学蒸着炉)の加熱プロセスで利用されています。 これには、熱酸化、液体源堆積、窒化ケイ素、ポリシリコンドーピングがそれぞれ含まれます。
メリット:
炉の要件に応じて、両方の発熱体が安定して動作するようにその向きを設計して、寿命を延ばし、メンテナンスと交換の時間を短縮することができます。 省エネ発熱体または急速冷却用のオプションを備えたKanthalのヒーターは、性能の最大化に役立ちます。
| 運転温度 | 300°C～1100°C | 600°C～1250°C | 800°C～1350°C |
| 一次発熱体材料(横型と縦型): | Kanthal® A-1、Kanthal® AMR & Kanthal APM™ | Kanthal® A-1、Kanthal® AMR & Kanthal APM™ | Kanthal APM™およびKanthal APM™ HP |
| 寸法: | 用途に合わせて柔軟に対応 | ||
| 考慮事項: | 省エネルギー発熱体、時間サイクル、水冷要件 | ||
炉制御スパイク熱電対
スパイク熱電対は、運転を正確に制御するために、横型ヒーターと縦型ヒーターで使われる極めて重要な温度測定装置です。 最高品質の素材で作られたこれらの熱電対は、独自の装置仕様に合わせて製造されます。
| 熱電対材料: | タイプR、S、B、K、Platinell II |
| セラミック直径(インチ): | 0.1875、0.125、0.094 |
| 接点の構成: | シングル、ダブル、トリプル |
| 終端: | 裸線、プラグ、ラグ |
| 先端: | くさび型、凹型、露出型 |
炉断熱材/エネルギーキット
プロセス炉で使われる断熱材は、炉内で熱を適切に分散、制御する上で非常に重要です。 当社の断熱材は、炉の負荷末端と熱源の端を一貫した断熱を実現するため、あらゆるサイズのプロセスチューブに対応するソフト、ハード、およびパネル型でご用意しています。 エネルギーキットはチューブ用カラーと加熱ブロックで構成されており、粉末化の低減と寿命の延長が必要な用途向けに、ハードコーティングされた末端ブロックとチューブ支持具も提供しています。 Kanthal®ではカスタム用途にも対応いたしますので、工場までお問い合わせください。最適なソリューションをご案内いたします。
熱処理製品
- Fibrothal®ヒーティングカセット
- 横型ヒーターと縦型ヒーター
- 低温(300～1100C)
- 中温(600-1250C）
- 高温(800-1350C）
- 炉制御スパイク熱電対
- セラミック断熱材/エネルギーキット