ライトゲージ拡散炉用カセット

ライトゲージカセットは、正弦波パターンまたはスプリングタイプのコイルに形成されたライトゲージワイヤで構成されています。 ライトゲージとは、カセットの構築においてより小さな直径のワイヤーを使用することを指します。 この構成は、拡散プロセスの正確な制御と応答時間にとって非常に重要です。

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用途

LPCVDおよび低温用途: 低温を正確に制御する必要がある場合に使用されます。 LPCVDなどの用途。ポリシリコン、窒化物、低温酸化物。 大気圏。H2焼きなまし、ポリイミド硬化。

高速温度応答用途: 急激な温度変化が要求されるプロセスに最適です。

急速冷却用途: 急速冷却が必要な用途に効果的です。

一般的な低質量ヒーターは次のもので構成されます。

  • ワイヤ屈曲またはスプリングコイルを埋め込んだハーフシェルセラミックモールド。
  • セラミックモールドをドライブランケットファイバーで裏打ちし、設計された断熱値とバランスのとれた圧縮性を実現。
  • 工具付き真空成形セラミック前室エンドインシュレーター。
  • さまざまな熱電対位置クランプ。
  • セラミックリードは内部バス要素にロック。 外部バス上の電源ブロック。

製品仕様

  • 中型および軽量ゲージのワイヤを精密機械で曲げ加工、または冷間コイル状のスプリングに加工します。
  • 25 mmおよび50 mmの典型的な波状曲げパターン。
  • SSTまたはアルミニウム製外装ケース。
  • 低温とより速い熱応答を実現する低質量設計。
  • 白または黒の表面コーティング。

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