拡散炉

Kanthalプログラムには、太陽電池や半導体の用途に使用される結晶シリコンウェハーの製造用の拡散炉用カセットが含まれます。

Kanthal拡散炉用カセットは次のような広範なプロセスをカバーしています。

  • ポリイミド硬化などの高速冷却用途
  • 大気酸化
  • LPCVD窒化物

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カンタル製品一覧

Fibrothal®拡散炉用カセット
Fibrothal®ヒーターモジュール
高温および抵抗材料