Cassette di diffusione con filo fine

Le cassette con filo fine sono composte da resistenze in forma sinusoidale o spirali. Per filo fine si intende all'uso di fili di diametro inferiore nella costruzione delle cassette. Questa configurazione è fondamentale per garantire precisione nei controlli e nei tempi di risposta del processo di diffusione.

    Vuoi saperne di più?

    Contattaci

    Applicazioni

    LPCVD e applicazioni a bassa temperatura: utilizzato quando è richiesto un controllo preciso alle basse temperature. Applicazioni come LPCVD; polisilicio, nitruro e ossidazione a bassa temperatura. Atmosferico; ricottura H2, indurimento della poliimmide.

    Applicazioni con risposta rapida alla temperatura: ideale per processi che richiedono rapide variazioni di temperatura.

    Applicazioni di raffreddamento veloce: efficiente nelle applicazioni che richiedono un raffreddamento rapido.

    Un tipico riscaldatore a massa ridotta è costituito da:

    • Forma in ceramica a semiguscio con filo annegato, grecato o spiralato.
    • Forma in ceramica rivestita con fibra isolante asciutta per un valore di isolamento specifico e una compressione bilanciata.
    • Isolatori di fine camera calda in ceramica formata sottovuoto e lavorati .
    • Varietà di morsetti di posizione per termocoppie.
    • Passanti ceramici per i terminali di alimentazione Blocchi di alimentazione su collegamenti esterni.