Cassette di diffusione con filo fine

Le cassette con filo fine sono composte da resistenze in forma sinusoidale o spirali. Per filo fine si intende all'uso di fili di diametro inferiore nella costruzione delle cassette. Questa configurazione è fondamentale per garantire precisione nei controlli e nei tempi di risposta del processo di diffusione.

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Informazioni

Applicazioni

LPCVD e applicazioni a bassa temperatura: utilizzato quando è richiesto un controllo preciso alle basse temperature. Applicazioni come LPCVD; polisilicio, nitruro e ossidazione a bassa temperatura. Atmosferico; ricottura H2, indurimento della poliimmide.

Applicazioni con risposta rapida alla temperatura: ideale per processi che richiedono rapide variazioni di temperatura.

Applicazioni di raffreddamento veloce: efficiente nelle applicazioni che richiedono un raffreddamento rapido.

Un tipico riscaldatore a massa ridotta è costituito da:

  • Forma in ceramica a semiguscio con filo annegato, grecato o spiralato.
  • Forma in ceramica rivestita con fibra isolante asciutta per un valore di isolamento specifico e una compressione bilanciata.
  • Isolatori di fine camera calda in ceramica formata sottovuoto e lavorati .
  • Varietà di morsetti di posizione per termocoppie.
  • Passanti ceramici per i terminali di alimentazione Blocchi di alimentazione su collegamenti esterni.

Caratteristiche

  • Filo di diametro fine e medio a greca, oppure avvolto a spirale a freddo con macchine di precisione.
  • Tipici modelli di piegatura a greca da 25 mm e 50 mm.
  • Involucri esterni in acciaio inox o alluminio.
  • Realizzazione a massa ridotta per basse temperature e risposta termica più rapida.
  • Rivestimento superficiale bianco o nero.

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