Cassettes de diffusion de jauge lumineuse

Les cassettes de calibre léger sont composées de fils de calibre léger formés en motifs sinusoïdaux ou en bobines à ressort. Le calibre léger fait référence à l’utilisation de fils de plus petit diamètre dans la construction de cassettes. Cette configuration est cruciale pour un contrôle précis et un temps de réponse du processus de diffusion.

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Informations

Applications

Applications LPCVD et basse température : utilisées lorsqu’un contrôle précis des basses températures est requis. Des applications telles que LPCVD ; polysilicium, nitrure et oxyde à basse température. Atmosphérique ; recuit H2, durcissement du polyimide.

Applications de réponse rapide en température : idéal pour les processus qui nécessitent des changements rapides de température.

Applications de refroidissement rapide : efficace dans les applications nécessitant un refroidissement rapide.

Un appareil de chauffage de faible masse typique se compose de :

  • Moules en céramique demi-coquille avec sinuation de fil incorporée ou bobines à ressort.
  • Moule en céramique soutenu par une fibre de couverture sèche pour une valeur d’isolation conçue et une compression équilibrée.
  • Isolateurs d’extrémité de vestibule en céramique formés sous vide.
  • Variétés de pinces de position de thermocouple.
  • Verrous de plomb en céramique sur les éléments à bus interne. Blocs d’alimentation sur bus externe.

Caractéristiques

  • Fil sinué de calibre moyen et léger, ou enroulé à ressort à froid avec des machines de précision.
  • Modèles de courbure sinués typiques de 25 mm et 50 mm.
  • Boîtiers extérieurs en acier inoxydable ou en aluminium.
  • Conception à faible masse pour des températures basses et une réponse thermique plus rapide.
  • Revêtement de surface blanc ou noir.

Téléchargements