Cassettes de diffusion Fibrothal®

Les cassettes de calibre léger sont composées de fils de calibre léger formés à froid en motifs sinusoïdaux ou en bobines à ressort. Le calibre léger fait référence à l’utilisation de fils fins dans la construction de cassettes. Cette configuration est cruciale pour une diffusion précise et contrôlée des impuretés dans le matériau semi-conducteur.

Les cassettes de gros calibre sont composées d’un fil de résistance de plus gros calibre qui est formé à chaud en forme cylindrique puis isolé et enveloppé. Ces cassettes peuvent avoir un nombre variable de zones et sont conçues pour offrir un chauffage constant et fiable dans diverses applications. Enroulé à chaud avec une puissance spécifique et contrôlée pour une précision du diamètre intérieur et une contrainte réduite sur le fil.

Le choix entre les fours horizontaux et verticaux dépend de divers facteurs, notamment des procédés de fabrication de semi-conducteurs spécifiques utilisés et des objectifs de l’installation de fabrication. Chaque orientation a ses avantages et ses inconvénients, et la sélection peut être influencée par des facteurs tels que la taille de la plaquette, les exigences du processus et le flux de fabrication global.