Casetes de difusión de calibre pequeño

Los casetes de calibre pequeño están compuestos de almabre de calibre pequeño que se forman en patrones sinusoidales o bobinas de tipo resorte. El calibre pequeño hace referencia al uso de alambre de menor diámetro en la construcción de casetes. Esta configuración es crucial para un control preciso y para el tiempo de respuesta del proceso de difusión.

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Información

Usos

Aplicaciones LPCVD y a baja temperatura: se utilizan cuando se requiere un control preciso de bajas temperaturas. Aplicaciones como LPCVD; polisilicio, nitruro y óxido a baja temperatura. Atmosférico; recocido con H2, curado con poliimida.

Aplicaciones de respuesta rápida de temperatura: Ideal para procesos que requieren cambios rápidos de temperatura.

Aplicaciones de enfriamiento rápido: Resulta eficiente en aplicaciones que requieren un enfriamiento rápido.

Un típico calentador de baja masa consta de:

  • Moldes cerámicos de semi-cilindro con sinuación de alambre incrustada o resortes en espiral.
  • Molde cerámico apoyado con fibra de manta seca para un valor de aislamiento diseñado y una compresión equilibrada.
  • Aislantes y vestíbulo de cerámica moldeados al vacío.
  • Variedades de sujeciones de posición de termopar.
  • Cerraduras de conductores cerámicos en elementos con bus interno. Bloques de alimentación con bus externo.

Características

  • Alambre de calibre medio y pequeño sinuoso, o resorte en espiral en frío con máquinas de precisión.
  • Patrones de curvatura sinuosos típicos de 25 mm y 50 mm.
  • Carcasas exteriores de acero inoxidable o aluminio.
  • Diseño de masa baja para bajas temperaturas y respuesta térmica más rápida.
  • Revestimiento de superficie blanco o negro.

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