Casetes de difusión horizontal y vertical

Los casetes de difusión Fibrothal®, disponibles en calibres pequeños y grandes, están diseñados y orientados de forma horizontal o vertical según su uso previsto.

La elección entre hornos horizontales y verticales está en función de varios factores, incluidos los procesos específicos de fabricación de semiconductores que se usan y los objetivos de la instalación de fabricación. La selección puede verse influida por factores como el tamaño de la oblea, los requisitos del proceso y el flujo de trabajo de fabricación general.

En la práctica, en la fabricación de semiconductores se usan hornos tanto horizontales como verticales, y la elección está en función de las necesidades y limitaciones específicas del proceso de fabricación. Cada orientación tiene su propio conjunto de aplicaciones y los fabricantes pueden usar una combinación de ambos tipos de hornos en sus instalaciones de producción.

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Información

Casetes horizontales

  • Los casetes suelen utilizarse para obleas de <= 200 mm.>
  • Las temperaturas atmosféricas del proceso pueden alcanzar de 600 a 1350 °C (1112 a 2462 °F).
  • Las temperaturas del proceso LPCVD pueden alcanzar de 300 a 1000 °C (572 a 1832 °F).
  • El equipo horizontal es bastante manual y la automatización normalmente no se integra en las unidades de fabricación de los clientes.
  • Normalmente, existen de tres a cinco zonas de control para casetes horizontales.

Casetes verticales

  • Los casetes suelen utilizarse para obleas de >= 200 mm.
  • Las temperaturas atmosféricas del proceso pueden alcanzar de 600 a 1350 °C (1112 a 2462 °F).
  • Las temperaturas del proceso LPCVD pueden alcanzar de 300 a 1000 °C (572 a 1832 °F).
  • El equipo se encuentra altamente automatizado dentro de las unidades de fabricación de los clientes.
  • Normalmente, existen de cuatro a siete zonas de control para casetes verticales.

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